Capacitive Humidity Sensor With Controlled Performances, Based On Porous Al2o3 Thin-Film Grown On Sio2-Si Substrate
Articolo
Data di Pubblicazione:
1994
Tipologia CRIS:
1.1 Articolo in rivista
Elenco autori:
Sberveglieri, Giorgio; G., Rinchetti; S., Groppelli; Faglia, Guido
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