A new SPM interferometer for displacement measurement at high velocity
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1991
Tipologia CRIS:
4.1 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Minoni, Umberto; Docchio, Franco
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Titolo del libro:
Proceedings of 37th IIS-ISA91