Effects of ion bombardment and gas incorporation on the properties of Mo/a-Si : H multilayers for EUV applications
Articolo
Data di Pubblicazione:
2003
Tipologia CRIS:
1.1 Articolo in rivista
Elenco autori:
Rigato, V; Patelli, A; Maggioni, G; Salmaso, G; Mattarello, V; Pelizzo, Mg; Nicolosi, P; Depero, Laura Eleonora; Bontempi, Elza; Mazzoldi, P.
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