Physical properties and microstructure of sputter deposited aluminum and zirconium oxynitride multilayers
Articolo
Data di Pubblicazione:
2003
Tipologia CRIS:
1.1 Articolo in rivista
Elenco autori:
Rigato, V.; Patelli, A.; Maggioni, G.; Restello, S.; Vezzu, S.; Cooke, K. E.; Teer, D. G.; Boscarino, D.; Figueras, A.; Depero, L. E.; Bontempi, E.
Link alla scheda completa:
Pubblicato in: